二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390853 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor是一種高效率的反應堆，設計用於金屬、合金和其他材料的小規模生產單晶片電化學沈積工藝。該設備具有高性能電源,可實現精確、可重復的過程控制,並具有可靠、耐用的平臺,可確保不間斷的運行時間。該系統包括一個負載鎖定、離子束誘導的沈積源，提供均勻的原料分布在基板上。可調腔室壓力允許對整個沈積過程參數進行精確控制。高真空條件還有助於有效利用低成本原料，如金屬和金屬鹵化物源。該單元的核心是一個單板腔室，可配置為多種基板過程，包括線性掃描和斜坡沈積、階梯沈積和時間相關過程。通用選項允許自動控制整個過程，從離子束和沈積點到底物溫度和電位。腔室還具有完全可調節的基板旋轉和選擇的隔離或冷卻選項。該反應堆配備了一個集成的半閉環過程控制和質量保證（PCQA）機器，旨在確保一致的、可重復的結果。該工具具有多個傳感器,可實時監視和控制流程參數,從而提供高級流程監控功能。資產還可以與實時監控模型集成，提供凹陷顆粒、薄膜厚度、成分、表面缺陷分析等反饋。這些設備可以進行縮放,以適應廣泛的生產目標,從當今的單板晶片到先進的面板基板甚至更多。這種模塊化使得可擴展的操作能夠優化生產產量、成本效率和全面提高質量保證。整個過程還針對安全進行了優化，包括氣體檢測系統和控制等離子體和閃過事件的先進控制技術。此外，自動校準裝置對過程參數提供恒定反饋，以確保最嚴格的過程控制。AMAT Producer SE Reactor是一種創新的工藝控制和沈積機，設計用於廣泛的生產要求。該工具結合了出色的靈活性、高吞吐量和改進的過程一致性,使其成為當今苛刻的生產環境中的理想解決方案。