二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9409076 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是設計用於半導體制造的先進反應器。AMAT Producer SE包含一個感應耦合等離子體(ICP)源,提供卓越的蝕刻性能。這樣可以提高流程生產率、提高流程性能和一致性,並減少排泄率。應用材料生產商SE具有集成的物理氣相沈積(PVD)模塊和多頻ICP源,提供對蝕刻深度、形狀和工藝條件控制的卓越控制。電感耦合等離子體和物理氣相沈積的選擇使得可以在多個基板的較大區域進行均勻蝕刻,具有很好的可控性。先進的ICP源提供了高水平的功率控制,具有卓越的過程均勻性和可重復性。集成的多頻ICP源在蝕刻過程中提供了更高的選擇性和響應時間,可加快高達60毫秒的反應速度。先進的等離子體源可提供多種工藝配方,提供卓越的性能和卓越的工藝通用性。此外,Producer SE還配備了高長寬比蝕刻模塊,以提高工藝精度和重復性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的浮動室設計也提高了蝕刻均勻性,以均勻的薄膜和種子層提供了優越的性能。先進的腔室設計也方便了更大的工作負載,允許快速吞吐量和高處理能力。最後,AMAT Producer SE提供尖端的制造能力,同時維持較低的運營成本。先進的等離子體源技術最大程度地降低了停機時間和停機時間成本,而自動校準和非接觸式電極調整等功能可加快運行速度並降低維護成本。因此,APPLIED MATERIALS Producer SE提供了卓越的蝕刻能力,同時保持了較低的操作和維護成本。
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