二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #135489 待售
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已售出
ID: 135489
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
CVD system, 8"
Process: HT NIT
Wafer shape: JMF
Wafer size: 8"
Producer type: long mainframe
SMIF: manual
System placement: through the wall
Chambers:
Chamber A: HT NIT
Chamber B: HT NIT
Chamber A:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Chamber B:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Beat exchanger: Steelhead 0
HF generators:
Chamber A: V-(RFG2000-2V)
Chamber B: V-(RFG2000-2V)
LF generators:
Chamber A: V-(DPG-10)
Chamber B: V-(DPG-10)
Mainframe:
Type: Producer long
SMIF: manual
Electrical requirements:
Line frequency: 50 / 60 Hz
Line voltage: 200 / 208V
Line amperage: 400A
System monitor: 1st and 2nd monitors
System placement: through-the-wall
Gas delivery:
MFC type: STEC 4400MC
Valves: FUJIKIN 5 Ra Max
Filters: MOTT
Transducer: MKS without display
Regulators: VERIFLO
Chamber A gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Chamber B gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Can be inspected
1999 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於薄膜塗層的沈積，以提高底物性能和耐久性。這座CVD反應堆裝有一個創新的波紋管式垂直電極，允許將薄膜塗層精確一致地沈積到從半導體材料到金屬的各種基板上。垂直電極結構還改善了沈積的均勻性，從而提高了塗層厚度控制和產率。AMAT Producer配有一個2米的雙室，方便雙面晶片生產，最多可同時處理四個厚度各異的晶片。該CVD反應室還利用了快速熱凹陷設備，這是一種新的PVD工藝，在其他常規薄膜生產方法的一小部分時間內產生原子層沈積（ALD）或MIPT-ALD塗層。APPLIED MATERIALS APPLEED MATERIALS Producer提供了多功能性和靈活性,允許用戶處理各種具有廣泛薄膜厚度的基板。它還允許單個晶片和晶片堆叠的多次重新塗層，以獲得最佳的吞吐量。其高效的晶圓定位系統搭配多氣體混合能力，進一步提高了沈積均勻性和可重復性。此外，CVD反應室通過利用均勻的溫度分布、壓力控制和優異的上行時間可靠性，確保了重復過程的結果，而不需要重新加工。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer具有直觀的圖形用戶界面（GUI）,允許用戶實時監視沈積過程和單元狀態。這個CVD反應堆還有一個直觀的遙控器，允許用戶從一個遠程位置監視和控制工具的操作。此外,還包括診斷工具以確保流程和資產兼容性,同時內置的安全功能可在發生意外情況時保護模型的操作完整性。綜上所述，AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer CVD Reactor是一種先進的大功率化學沈積設備，旨在提供改進的基板性能和耐用性。該CVD反應器配備了堅固的技術和直觀的控制，使其成為可靠高效的基體沈積解決方案。AMAT Producer憑借其靈活靈活的設計、卓越的正常運行時間可靠性和先進的GUI,為用戶提供了在充滿活力的市場中蓬勃發展的靈活性。
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