二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293603980 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer（有時也稱為AMP）是一種先進的、多過程的腔室，設計用於制造薄膜塗層和薄膜材料的沈積。AMP能夠在單個設備中執行許多不同類型的沈積過程，如濺射沈積、化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）。開發AMP工藝是為了滿足業界對先進薄膜材料和塗料不斷增長的需求。AMP室由耐腐蝕材料構成，具有三個工藝區，每個工藝區都裝有一個主工藝腔。對主要工藝腔進行密封，以最佳控制工藝環境，確保薄膜塗層的可重復性。每個工藝區還配備了自己的專用部件，如基板加熱器、運輸機構和遙控升降臂。AMP室有一個全自動的裝卸系統，能夠同時處理多種基板，同時保持清潔和無汙染的環境。AMP還可以配備多種工藝工具，方便磁控管濺射、離子束沈積、CVD和電解沈積等不同沈積技術。每一種沈積技術都提供了一套好處，包括提高對薄膜塗層質量和均勻性的控制，加快制造時間和提高能效。除工藝工具外，AMP腔室還包含各種控件、進給線和流量控制器，以提供最佳的工藝控制。腔室還配有氣體單元，用於精確控制腔內的氣體壓力和成分。煤氣機還有助於減少沈積作業過程中的熱或等離子體損傷。最後，AMP還配備了一個精密的監控工具，可以提供詳細的工藝數據，包括工藝時間和薄膜厚度讀數。該數據可用於調整沈積過程，以優化薄膜材料和塗層的質量。AMP是一種先進的制造資產，能夠滿足行業標準的精度和準確性。