二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293824606 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一種工業級真空沈積反應器，專為薄膜沈積和工藝集成而設計。該反應堆與物理氣相沈積、濺射沈積、化學氣相沈積、原子層沈積等多種薄膜沈積技術和能力相連接。它有幾個特點，如多個源籃、一個原位高溫計和一個多點運行結束（EOR）等離子體監測儀。它還能夠提供高達2,400瓦的功率。AMAT Producer由幾個子系統組成，包括真空室、真空泵以及工藝和電源。真空室裝有視口，並裝有一個模塊化的伸縮感光器，可容納多達8英寸的晶片和小樣品。真空泵設計用於提供精確的壓力控制，用於疏散腔室並維持預定壓力。應用材料生產商的一系列工藝來源包括直流磁控管和射頻磁控管，分別用於濺射沈積和反應性離子蝕刻（RIE）工藝。直流磁控管是內部安裝的自備電源，而RF磁控管則是外部安裝，與主電源接口。該電源可提供高達2,400瓦的射頻功率,是模塊化的,配有調諧和匹配射頻源的設備。內部高溫計提供沈積過程中晶片的原位溫度監測，而EOR等離子體監測儀則允許操作員評估沈積過程的終點。這使操作員能夠微調沈積參數並優化過程。生產商還與一系列能夠冷卻腔壁的組件以及用於監測和控制基板溫度和腔室清潔度的主動環境控制系統相結合。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一個高效、用途廣泛且用戶友好的反應堆，為一系列微電子應用提供了出色的薄膜沈積解決方案。它易於操作,並提供了從一個流程切換到另一個流程的靈活性,從而實現了出色的流程可重復性和可重復性。總體而言，這種反應器是那些需要可靠和堅固的薄膜沈積系統的人的絕佳選擇。