二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9111149 待售

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ID: 9111149
CVD System, 12" (3) Chambers (4) Load Ports EFM: Kawasaki Robot 30D61H-A002 TM: Brooks Mag 8, P/N: 0190-25011 AE APEX 3013, P/N: 3156114-006 MKS ASTRONex Currently in cleanroom 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer,又稱AMAT Producer,是一種先進的擴散和外延反應堆,用於制造從半導體裝置到太陽能電池的一系列技術。APPLIED MATERIALS Producer的設計目的是創建高精度和可重復的薄膜,以及減少循環時間和確保過程一致性。反應堆是用比傳統工藝工具更大的腔室建造的,允許提高吞吐量和多個工藝並行進行。反應堆利用高溫、超高真空(UHV)技術,利用電子束等熱源在精確的溫度和厚度下傳遞熱量,以便在晶圓上創建所需的薄膜結構。晶片首先放在一個持有人的特高壓室內,然後用加熱器線圈將其加熱到所需溫度。晶片加熱後,使用低壓源擴散適當的氣體或冷凝材料,如砷或磷。這種氣體或材料充當摻雜劑,然後通過沈積膜擴散形成所需的結構。此過程具有以下好處:更快的過程周期時間、改進的過程控制以及產品到產品的可重復性更高的一致性。生產商非常適合在需要薄膜生長和摻雜的半導體制造中使用的工藝。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer也可以用來製作厚度範圍廣泛的薄膜,以及具有粗糙和熔化特性的薄膜。這允許制造各種設備,例如:晶體管、二極管、收發器和半導體存儲器芯片。AMAT生產商的靈活性、低壓技術和可重復性使其成為研發新技術的寶貴工具。其能力和技術進步可用於各種晶圓廠功能和工藝,使應用材料生產商成為制造技術不可或缺的要素。
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