二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9192631 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是為等離子體增強分子束外延（PEMBE）而制造的先進反應器技術。該反應堆使半導體器件的開發和生產能夠在工業規模上進行，從而允許大批量生產滿足嚴格半導體器件要求的器件。該反應堆的設計旨在提供高水平的工藝控制，使設備生產能夠快速進行，設備產量和效率達到最高水平。AMAT Producer由幾個組件組成，包括一個多維反應堆室，帶有射頻（RF）線圈，一個平面角閃石敏感器和一個卡盤。高度自動化的控制軟件旨在自動化設備生產過程，並提供氣體流量、沈積溫度和其他設備參數等多種設置。流程參數可以通過基於Web的界面進行調整，為用戶提供即時調整設備參數和監控設備生產進度的能力。反應堆的底盤由鋁制框架和不銹鋼外墻組成，使其輕巧耐用。然後這個框架填充了幾個由高性能陶瓷制成的組件。疏散室的溫度範圍在50-250攝氏度之間，高壓10-13托爾，非常適合發生在等離子體增強分子束外延的反應條件。射頻線圈向基板提供必要的能量，然後與引入腔室的源氣體發生反應。射頻線圈還用於提供磁場，用於塑造正在研究的反應的電子束和離子束。平面角閃石敏感器是晶圓所在反應器內的平臺，用於整個器件的開發。由於反應器室的高溫環境，敏感器必須具有耐熱的能力，這就是為什麼AMAT使用鈣鐵礦陶瓷（一種熱膨脹質量低的材料）生產敏感器的原因。這種材料還提供了高水平的熱沖擊和強度，使其成為用於這類設備生產的絕佳選擇。總體而言，APPLIED MATERIALS PRODUCER是一種先進的反應堆技術，為設備生產和工藝開發提供了與工業相關的平臺。通過提供一個高度可控的參數集，設備產生一個一致的，高產量的產品，滿足嚴格的要求。它的輕巧、耐用的設計和堅固的組件使設備能夠保持嚴格的標準,其自動化控制軟件減少了獲得最佳設備性能所需的手動幹預量。