二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9204130 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一個高性能的大型反應器，設計用於鎢化學氣相沈積（CVD）和用於半導體器件制造的鎢層的預加工和後處理。該反應堆設計用於將垂直均勻、無缺陷的鎢層輸送到各種基板上。Materials AMAT Producer的設計具有較大的磁感器直徑,允許720 mm的均勻沈積和消除非均勻性。該反應堆還具有均勻的感應溫度控制功能，允許在晶圓兩側設置獨立的溫度。APPLIED MATERIALS Producer也設計有光束監視器，提供沈積過程的實時監控。在處理多種類型材料的能力方面，材料生產商能夠通過與多種試劑氣體形成的反應進行CVD沈積、蝕刻和清洗。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer的設計目的是支持以鎢為基礎的策略和工藝,提供處理各種鎢基板的能力,如銅、銅鎢、鉬和二氧化矽。AMAT Producer是一個多室構型反應器，具有兩個室：工藝室和氣源室。該工藝室包括一個低壓範圍射頻電源、反作用室、兩個獨立的磁感器、一室式負載單元和一個真空室。氣源室由控制氣體壓力和流量的端口、線軸片、幹燥機和調節功率和反應條件的控制器組成。APPLIED MATERIALS Producer還附帶了功能強大的軟件,可提供實時過程條件以及高級診斷、數據記錄和分析工具。這座反應堆由若幹促進安全操作的安全特性所四舍五入，其中包括懸掛的煙罩、現場人員監測和32點安全關機系統。綜上所述，Producer是一種先進而強大的反應堆，設計用於鎢CVD和層的預加工和後處理。該反應堆對反應條件提供精確控制，支持多種材料，並包含一系列安全特性，以確保操作更加安全。