二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9213897 待售
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ID: 9213897
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
System, 8"
Process application: Silicon oxide and silicon nitride
SMIF: (4) ASYST INX 2200
Mainframe: FR BROOKS
NESLAB Steelhead1 Chiller
Mainframe pump: IPX 100
Process chamber A:
Type: Silicon oxide and silicon nitride
AE RG 2000 Generator
Chuck: Ceramic heater
Clean unit: RPS
Gas configuration:
N2 10000 SCCM
NF3 3000 SCCM
NH3 100 SCCM
NH3 1000 SCCM
SIH4 500 SCCM
N2O 500 SCCM
N2O 5000 SCCM
AR 5000 SCCM
Process chamber B:
Type: Silicon oxide and silicon nitride
AE RG 2000 Generator
Chuck: Ceramic heater
Clean unit: RPS
Gas configuration:
N2 10000 SCCM
NF3 3000 SCCM
NH3 100 SCCM
NH3 1000 SCCM
SIH4 500 SCCM
N2O 500 SCCM
N2O 5000 SCCM
AR 5000 SCCM
1999 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Producer(又稱MXTD)是一種用於制造先進材料產品的反應堆。它是一種具有多反應室和精密過程控制功能的多過程批處理室設備。該系統能夠生產用於微電子器件和先進光學元件的單片復合材料。腔室單元由幾個不同大小的工藝腔室組成,可配置為滿足用戶的需求。每個腔室都配有獨一無二的預裝設備和部件,如旋轉泵、閥門、電源等。當腔室在使用時,反應腔室用選定的溶液填充,並啟動過程。當過程開始時,反應室內產生真空,並保持壓力,以確保高質量的材料生產。一旦過程啟動,用戶可以通過調節溫度、壓力和流量來控制反應。然後反應進行,直到得到所需的產物。AMAT制劑保證成分均勻、純度高、均勻性好。MXTD還配備了廣泛的附加功能,使其適合各種應用。集成在反應堆中的集成壓電掃描機,可以精確測量溫度、壓力等過程變量,即使處於低水平。它還為一致重復相同的處理技術提供了一個穩定的環境,使得MXTD具有很高的可重復性。MXTD反應堆還具有先進的數據記錄工具,可用於分析過程數據和過程控制。此資產允許用戶實時查看自己的數據,或者使用第三方分析軟件存儲和分析反應過程。總體而言,MXTD是一種先進、多工藝、通用的反應室模型,能夠生產高質量的整體和復合產品。集成的過程控制系統確保產品的統一性和可重復性,而技術先進的數據記錄設備則允許用戶分析過程數據並進一步洞察其應用。
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