二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9221488 待售

AMAT Produce是為各種制造工藝而設計的反應堆。該反應器用於薄膜沈積，在各種薄膜厚度和沈積速率上對薄膜性能進行特殊的控制和均勻性。該設備專為批處理或串聯處理而設計,可實現多種工藝和材料組合。該系統提供了一個可重復、可控和可靠的過程和均勻性結果。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer包括兩個長島沈積源和兩個主腔室，每個主腔室都有兩個載荷鎖。載荷鎖可以用螺栓固定在一起，形成一個單室組件。兩側的兩個負載鎖分別通風，以控制過程壓力和溫度。腔室組件和載荷鎖由高質量的不銹鋼和鋁加上可選的鈦襯腔室底座構成。腔室尺寸、內部溫度和壓力由集成的計算機控制溫度和壓力調節器維護和監控。AMAT Producer專為高吞吐量應用而設計,在15分鐘內提供多達30個薄膜結構的生產速率。沈積源為均勻的薄膜沈積提供高達1千瓦的底物功率。此源可以手動或自動模式操作。手動模式允許過程操作員精確控制包括反應堆過程氣體的溫度、壓力和流量等變量。自動模式允許對這些變量進行遠程控制。APPLIED MATERIALS Producer的控制單元建立在經過驗證的機器體系結構之上。該工具包括一個直觀的圖形用戶界面（GUI），允許用戶輸入流程參數、監控流程性能以及跨多個流程訪問歷史數據。該資產還包括一個功能強大的工藝開發模塊，用於快速設置和優化薄膜沈積工藝。生產商采用多種物理和化學傳感器來測量反應過程氣體參數和薄膜沈積性能。這些監測參數包括沈積速率和均勻性、底物溫度和熱電沈積速率。該模型確保薄膜沈積過程遵循所需的參數。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer非常適合用於各種薄膜沈積應用。適合於要求均勻薄膜沈積在高長寬比高達20：1的基板上的應用。該設備具有較高的吞吐量能力,使工藝開發人員能夠快速設置和優化薄膜沈積工藝。憑借先進的控制系統和質量組件，它是可靠、可重復的薄膜沈積處理的理想平臺。