二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9243839 待售

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ID: 9243839
晶圓大小: 12"
Etchers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER是一種生產反應器,旨在提供具有精確層厚控制的材料的高純度沈積。反應堆采用模塊化設計,便於安裝、操作和維護。它具有高性能的沈積室,具有堅固的溫度控制和均勻性,是建立在一個專利加熱器平臺。反應堆的工作原理是將形成膜的過程氣體引入室內,在室內加熱和電離。這創造了一個等離子體,進一步將過程中的氣體分解成分子和中性自由基,讓它們以更高的精度沈積在基板上。AMAT Producer還配備了一個獲得專利的自動化過程控制設備,以確保沈積速率和層厚的出色可重復性。該系統包括一個反應性氣體輸送單元、真空控制、壓板相角控制,以及一個用於精確控制的實時數據采集機。它還配備了流程監測工具和綜合安全聯鎖,以監測資產參數,並監測和預先警告任何潛在的故障。應用材料生產商的沈積室具有廣泛的溫度範圍,適用於各種不同的應用。它提供了低壓等離子體技術以提高效率,以及先進的材料凈化技術,以實現更好的膜均勻性和高純度的沈積膜。該反應堆的設計對環境的影響也很小,耗電率也很低。除了所有這些功能外,Producer還提供了一個完整的全自動沈積平臺,可以將其編程為運行整個過程或一系列特定配方。這個先進的平臺具有高效的冗余軟件和硬件,可實現完整的過程控制和分析,並可針對未來需求進行可擴展性。該模型設計為無縫運行,用戶可以享受提高的產量和利潤。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一個針對最苛刻和精確的材料生產要求的綜合沈積解決方案。它具有高純度沈積和精確的層厚度控制,環境影響最小,功率效率高。反應堆還采用先進的自動化軟件和模塊化設計,以提高可用性和最大的可擴展性。
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