二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9262473 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一種高級沈積和蝕刻反應器，設計用於制造半導體器件。它采用了最新的技術進步，以便能夠以高精度和均勻性沈積和蝕刻納米級層。該設備利用具有兩個電子源的等離子體腔室，產生具有電流強度和等離子體種類等多種參數的高能離子。這樣就可以在確定尺寸和厚度的基板上沈積具有極好均勻性的材料。該腔室配有光學發射光譜，監測等離子體的化學成分，並允許精確控制所需的能級和摻雜剖面。還包括質譜分量，用於監測傳入等離子體離子在基質上的濺射速率。該系統還能夠進行各種蝕刻過程，如反應性離子蝕刻、深反應性離子蝕刻和等離子體增強化學氣相沈積。該單元還通過全面的圖形用戶界面和過程控制機具備綜合控制能力。流程控制工具為用戶提供了一些基於模擬的流程，以幫助創建行業標準流程配方。腔室是高度模塊化的，可以配置為容納不同的流程配方，允許用戶運行針對特定應用進行優化的特定流程。資產的設計使其能夠適應各種沈積和蝕刻過程。沈積室由具有可變功率水平的雙動力基板支架和非易失性內存模型組成。反應性氣體和特種氣體可根據需要添加到腔室中，以執行特定的過程。蝕刻室的設計目的是盡量減少對基板的損壞，並進行高選擇性蝕刻工藝。AMAT Producer是一款功能強大的半導體生產設備，可確保高精度沈積和蝕刻。它專為極高的精度、高吞吐量和先進的過程控制而設計。該系統適用於從超小型特性到高精度、均勻性大基板的半導體器件制造。