二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #293669533 待售

AMAT Endura PVD室是專為先進半導體材料加工而設計的物理氣相沈積（PVD）反應器。這種最先進的設備提供了處理各種晶圓尺寸和材料所需的可靠性和可靠性，優化了芯片性能和產量，並實現了各種沈積過程。Endura PVD室利用Advanced Materials專有的磁控管濺射和電離物理氣相沈積（iPVD）技術,提供卓越的均勻性和可靠性。PVD室由真空系統、目標面、工藝區、機器人轉移區和工藝控制單元組成。它具有高精度的機械臂，具有先進的環境控制，可自動傳輸和處理直徑達6英寸的晶圓。這種高性能和穩定性允許高度控制材料特性,從而在密度、厚度、電阻率、蝕刻偏差和步進覆蓋範圍的大規模運行和晶片到晶片的生產中實現緊密的一致性。Endura PVD室還設計為節能，減少預防性維護的需要。該機器還消除了對昂貴的低溫冷卻系統的需求，即使是最高溫度過程也能穩定下來。該室包括一個專有的高功率封裝電源，這有助於減少頻繁更換電源的需要，從而提供更可靠和成本效益更高的設備維護。最後，Endura PVD室擁有先進的流程控制系統和診斷，有助於及早監測和發現潛在問題，從而能夠快速作出反應，減少停機時間。此外，所有的刀具參數如工藝壓力、功率和沈積速率都可以從腔室的車載計算機進行監控和相應調整。結合腔室的綜合診斷能力，這些特性創造了一個優化，高度可靠的真空沈積腔室。