二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #293705581 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura是為物理氣相沈積（PVD）工藝而設計的反應器。它是為高水平生產和方便操作而設計的，具有可靠的工藝重復性。該PVD室采用三維氣體噴射設備，提供統一的工藝參數和提高產量。該室直觀的數字控制系統允許精確的過程監測和控制。該腔室集成了多種不同的技術來優化過程的可重復性、可靠性和準確性。它具有一個高指標的電動機械驅動的集群門和石英壓力密封允許精確，可重復晶圓離散加載和卸載。石英門的設計是為了在室內保持均勻的壓力條件，同時允許將氣體混合物穩定而精確地註入真空密封環境。該腔室包括一個可用的內部渦輪分子泵，用於降低總單位壓力，持續監測腔室內的操作環境並保持精確的壓力設定點。這有助於實現準確和可重復的過程條件。機器還配備了恒定惰性氣毯，以控制氣體水平，減少氧化和其他汙染的可能性。該腔室還設計用於最大程度地減少加載和卸載過程中晶片上的過程沖擊。該室采用先進的熱管理工具。這有助於確保加工過程中溫度的均勻性和自動熱控制。該工藝產生的熱量被保留和循環，從而產生更高的吞吐量和較小的溫度偏移，並改善整個工藝室的熱均勻性。AMAT PVD Chamber for Endura專為工業級生產而設計，提供卓越的性能和高產率。其先進的技術組合確保了準確和可重復的過程、均勻的溫度和壓力條件以及最小化的過程沖擊,可幫助提高產量並提高過程性能。
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