二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #293767111 待售

AMAT公司為Endura平臺設計的PVD室是一種物理氣相沈積（PVD）反應堆，旨在實現先進的半導體器件制造能力。該系統在工藝能力、腔室配置和整體系統設計方面提供了高度的靈活性。Endura平臺的PVD室可用於廣泛的沈積過程，包括TiN/W、碳化鎢、氧化鋁，以及高溫金屬、合金等其他較為奇特的材料。其圓柱形設計使其高效，有助於保持整個腔室的高度均勻性。Endura平臺的標準PVD Chamber具有多項功能,使過程更加可靠和高效。高速靜電卡盤在基板上提供可重復和均勻的沈積。雙頻射頻發電機進一步提高了工藝速度，降低了電力消耗。一個原位石英視場允許實時監測整個沈積過程，從而提供寶貴的洞察結果層的質量。溫度控制真空室有助於確保整個過程的工作溫度保持一致。PVD腔室具有多個自動化和控制級別，使用戶可以在從一個工藝過渡到另一個工藝的過程中輕松監控和調整沈積參數。提供了高級軟件，以確保準確控制每個單獨層和完整塗層批次的所有參數。自動化的流程配方創建也是可能的,這樣用戶就可以快速啟動新的沈積,而無需手動輸入。該腔室還可以安裝一些可選配件，以進一步提高其性能。一個石英襯裏，角度沈積基板支架，射頻屏蔽和運動補償裝置都可以添加到PVD腔室。這些配件有助於降低擁有成本，最大限度地減少汙染的引入，提高沈積層的一致性。總體而言，Endura平臺的PVD室是一個極其可靠、高效和具有成本效益的PVD反應堆。其靈活的設計和穩健的自動化軟件使其適合各種不同的應用和材料。隨著各種配件的加入，該反應室可以提高產品產量和整體系統性能。