二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9375957 待售

ID: 9375957
晶圓大小: 8"
8" With pump.
與Endura平臺配合使用的AMAT PVD腔室是薄膜材料物理氣相沈積的先進工具。這種先進的工藝室設計用於對各種基材的沈積環境進行精確的控制。腔室與廣泛的工藝兼容,包括金屬、合金和復合沈積。PVD腔室本身是一個大型圓柱形外殼,由堅固的鋼體制成,由重型金屬加工而成,為了符合人體工程學和結構完整性。腔室內部是一個真空兼容的電動機和風扇組件,它為沈積過程提供精確和受控的質量流動曲線。這款高效電機連接到精密驅動機構,可控制精密轉速,確保沈積在基材上的層或膜的精度和均勻性。該室還具有若幹安全特性,包括防止在過程運行過程中打開腔室的安全互鎖,以及在發生意外漏鬥斷裂時確定從腔室內部到外部的加工壓力線的機械壁。腔室還包括一個靠近外殼頂部的透明窗口,使技術人員可以在進程運行過程中目視檢查內部。Endura平臺的APPLIED MATERIALS PVD腔室附帶的控制器是一個直觀、易於使用的系統,可以通過計算機或移動設備進行管理。它提供了沈積過程的實時視圖,使技術人員能夠輕松地監視、分析和修改設置。控制器還提供了一個過程結束報告,其中包括關於周期數和已沈積物料量的詳細信息。這些信息可用於優化沈積過程,並在多層基板的薄膜厚度、均勻性和一致性方面產生更準確的結果。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber for the Endura platform is a advanced tool for thin presentation on a various of substates.它具有多種安全特性、最先進的電機裝配和直觀的控制器,在沈積過程中提供了卓越的控制、精度和精確度,一次又一次地產生精確的層和薄膜。
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