二手 AMAT / APPLIED MATERIALS RTP #9035884 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS RTP是為半導體材料加工而設計的反應堆,由AMAT開發制造。反應堆配有先進的過程控制系統,確保準確和可重復的結果。它用於集成電路(IC)的制造,旨在實現具有高級特性和高性能的IC的制造。AMAT RTP是一種先進的熱處理系統,用於多種應用,包括電介質沈積、擴散、回流和退火。該反應堆采用循環熱處理,可提供更快的加工周期,提高基板的均勻性和可重復性。還配備了熱成像技術,提供精確的溫度控制和監控。反應堆可配置用於多種過程,包括化學氣相沈積、氧化、快速熱退火、回流和擴散。反應堆包括一個加熱的石英管、一個石英觀光池和一個積液池。石英管為基板提供加工空間,並允許它們在受控環境中加熱和冷卻。石英檢視池含有反應性物質,而積液池則提供溫度控制,並允許氣體混合物有效地應用於基質。還包括一個中央控制器,用於提供流程監控以及數據記錄和歸檔功能。應用材料RTP是一種高效、高效、可靠的熱處理系統.它的設計采用了堅固的材料和工藝,以確保高生產率和可靠的底物均勻性在數百萬個加工周期。該反應堆是IC制造應用的經濟高效的解決方案;允許在較短的時間內完成復雜的處理。它還配備了自動化控制,以確保各種應用程序的性能一致並提高精度。這使得它成為IC制造的理想解決方案,允許更高效的流程和更短的上市周期。
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