二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375619 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2是一種功能強大、可靠的蝕刻反應器，設計用於處理多種材料，包括矽、二氧化矽、移動物、銅、砷化移物等材料。AMAT Siconi R2是一種雙面等離子體蝕刻反應器，具有兩個獨立的大功率腔室。每個腔室都能進行反應性離子蝕刻（RIE）和遠程等離子體蝕刻（RPE）。APPLIED MATERIALS Siconi R2配備了靈活的電源設備，具有廣泛的直流、射頻和微波源，用於控制不同的過程。它還具有獨特的板載電源管理系統,可輕松調整和優化流程配方。該單元利用多個單獨的發電機通道，以實現最佳的靈活性和多功能性。Siconi R2還具有用於自動化流程和調度的高級軟件和控制機器。它有一個內置的過程窗口功能和軟件來監控蝕刻和沈積過程。該軟件還允許遠程訪問和控制，以及高級數據分析和流程優化功能。為了獲得最佳效果，AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2采用了先進的沈積和蝕刻技術。可使用的技術類型包括等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、濺射蝕刻、離子束蝕刻、反應性離子蝕刻、深反應性離子蝕刻、電子俘獲灰化和反射法。AMAT Siconi R2還具有一系列安全功能，包括自動關機和用於保護的檢測系統。為了最安全起見,也將腔室區域封閉起來.APPLICED MATERIALS Siconi R2還有一個專利氣體分配工具，確保在整個基板表面均勻的氣流和均勻的蝕刻。Siconi R2是一種強大可靠的蝕刻反應堆，非常適合加工多種材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2具有先進的電源、軟件和控制系統以及先進的沈積和蝕刻技術，是蝕刻和沈積工藝的絕佳選擇。其安全特性和獲得專利的氣體分配資產使其成為加工任何類型材料的安全高效的選擇。