二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375622 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2是一種用於半導體生產的大功率、高容量反應堆設備。該系統由底物支撐臺和反應堆室兩個主要部件組成。基板支撐臺由不銹鋼制成，在加工過程中支撐基板。反應堆室是由不銹鋼製成的大氣壓合格真空室，用來為基板在過程中提供清潔安全的環境。AMAT Siconi R2有一個很大的功能集，提供精確和可重復的過程參數控制。該機組配備了射頻發電機、提供均勻溫度分布的精確風冷卡盤以及先進的實時氣體控制機。射頻發生器能夠提供高達10瓦的射頻功率,在整個周期中提供過程可重復性。風冷卡盤的設計目的是減少整個晶片的熱梯度，允許均勻的工藝參數，如氧化物厚度和蝕刻深度。實時控制工具可在循環過程中實現精確的反應控制,確保一致的質量和可重復性。APPLIED MATERIALS Siconi R2為過程控制提供了一個最佳的環境,允許最高級別的過程可重復性,且刀具停機時間最少。對工藝參數進行精確、可重復的控制，提高了加工產量。該資產專為自動化生產而設計，是半導體器件制造過程中的重要環節。這種最先進的反應堆模型提供了一種安全、清潔和一貫可重復的大氣，同時也實現了最大吞吐量。