二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi #293614941 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi Reactor是革命性的等離子體蝕刻反應堆，能夠提供最高質量的工藝性能和可靠性。該反應堆是一種功能強大的多功能工具，可以為用戶提供廣泛的能力，從低k電介質蝕刻到高密度等離子體處理。該反應堆設計用於半導體工業中先進材料的蝕刻，使厚度在0.8nm至10nm之間的電介質蝕刻成為可能。AMAT Siconi反應堆具有一流的工藝控制,能夠在室溫至350攝氏度的廣泛工作溫度範圍內實現完整的蝕刻均勻性。該反應堆利用最新的材料科學和等離子體加工技術，以經濟的價格提供高質量、可靠的結果。其先進的過程控制系統無需人工幹預即可實現可靠、可重復和高質量的結果。APPLICED MATERIALS Siconi Reactor還具有高度自動化功能,使用戶能夠編程、運行和監控其過程,而無需人工幹預。這包括創建可應用於不同產品的多個自定義參數和配方的功能,而無需每次手動調整設置。此外，它的圖形用戶界面使得設置和監控流程變得容易。Siconi Reactor可以與各種其他系統集成，如輸送機系統和異地設備。這允許用戶具有更好的流程控制、更高的吞吐量和更高的靈活性,從而在流程中獲得最高的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi Reactor也被設計用於原子層沈積（ALD）、化學氣相沈積（CVD）和等離子體增強沈積（PED）等先進工藝。總體而言，AMAT Siconi反應堆為用戶提供了一流的工藝能力和可靠性。它的高級功能和自動化過程控制旨在以經濟的價格產生可重復的高質量結果。憑借其先進的功能,用戶可以通過最少的手動幹預實現最高級別的流程性能。APPLIED MATERIALS Siconi Reactor的使用者也可以利用其與各種系統的整合，以最大限度地提升其過程吞吐量和靈活性。