二手 AMAT / APPLIED MATERIALS System #293654409 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Equipment是一種高性能等離子體增強化學氣相沈積（PECVD） AMAT系統。其設計為單晶片式全金屬陶瓷真空室，包含可配置的雙電容耦合等離子體源和多個加熱區。這一應用材料單元可用於各種應用，包括半導體、光電子和微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的薄膜沈積和表面改性過程的精確控制。Machine中的雙等離子體源將射頻功率和工藝氣體結合在一起，產生高能反應性物質。這些物質散布在加熱的晶片上，形成均勻的沈積和廣泛的表面改性。此外，多晶矽沈積過程也通過使用更高的射頻功率和微調氣流得到改善。晶圓的溫度通過先進的熱區管理AMAT/APPLIED MATERIALS TOOL進行管理。該AMAT資產由多個獨立的加熱溫度組成，允許完全控制熱循環。使用高級PID（比例、積分和導數）控制對每個區域的溫度進行監測和調整。還可以精確調整過程的溫度平面以適應應用程序的需要。PECVD反應器也有內置的冷陰極電離真空（CCIV）泵，提供最高程度的真空控制。這樣就消除了對外部真空泵的需求,從而降低了成本並提高了APPLIED MATERIALS MODEL性能。CCIV泵設計用於處理設備產生的大量氣體，同時提供極低的氣體壓力。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS系統可以與AMAT過程控制軟件集成.該軟件允許用戶遠程監視和控制整個AMAT單元，提供沈積和表面修改過程的完全可見性。通過自動化過程,APPLIED MATERIALS Machine確保了最佳性能和效率。