二手 AMAT / APPLIED MATERIALS TCG Rack for Centura RTP #293640872 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS TCG Rack for Centura RTP是一種工業反應室，旨在支持半導體生產中使用的原子層的熱控生長。該腔室允許在反應過程中精確控制溫度、壓力、反應物和環境。該單元由一個圓柱形反作用室、一個用於動力和控制的外室、一個安裝在兩個內殼和外殼之間的屏蔽裝置、一個惰性氣體引入設備以及幾個安全特性組成。內室由真空密封不銹鋼合金構成，設計可承受高壓和高溫。它有一個圓柱形的同心設計，用於精確的工藝氣體自上而下的流動分布，一個7英寸的光學接入和RAMAN光譜窗口，一個可擴展的氣箱，和一個獨特的端口設計，註入反應物或樣品點接近底物。裝有電源和控制機構的外室提供高達1000 °C的溫度和高達20 bar的壓力。配置有進氣歧管、冷卻系統、排氣孔和各種控制閥。屏蔽層設計為吸收化學蒸氣，在內室和外室之間提供熱隔離，而惰性氣體引入單元則允許精確控制反應氣氛。最後,還包括各種安全組件,如無源冷卻機、熱切斷和全關機安全開關,以防止設備因停電或操作錯誤而出現故障。用於Centura RTP的AMAT TCG機架是一種先進的、高度可配置的反應室，非常適合薄膜的熱控生長。通過這個單元產生的薄且均勻的層有助於半導體生產過程變得可靠、精確、高效。
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