二手 AMAT / APPLIED MATERIALS TCG Rack for RTP #293662056 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS TCG Rack for RTP （Thermal Chemical Vapor Deposition）是一種最先進的反應器,設計用於控制各種應用的沈積過程,從半導體材料如矽和移到各種金屬和介電層。機架由三個組件組成：氣體分配系統、電源和溫度控制單元。氣體分配系統提供制造所需材料所需氣體的精確混合。電源保證了反應性氣體的有效利用和沈積速率的直接控制。控制單元提供了獲得所需特性材料所需的溫度循環。機架的設計能夠為沈積過程提供準確的控制和靈活性，並防止不需要的薄膜汙染和沈積在基板上。它具有調節量的氣流，以及恒定的排氣流，以去除反應室中的副產物。氣流最多可分為四個單獨的輸出，在同一批中處理要求不同的不同基板。機架配備了廣泛的溫度控制選項，從300 °C到880 °C（572 °F到1616 °F）。電源由一個AC-或DC控制的電阻加熱器和一個比例閥組成，將氣體流量設置在所需的水平。機架可以處理多種基板，包括半導體晶片、玻璃滑軌和OLED基板。它能夠實現高精度的沈積速率，並與多種氣體兼容性，包括氧氣、氫氣、氮氣、矽烷、二氯矽烷和氫烷等。簡而言之，用於RTP的AMAT TCG機架是一種前沿反應器，為薄膜和厚膜沈積應用提供最嚴格的工藝控制和最高的靈活性。它具有精確的溫度調節、廣泛的氣體和優良的基板覆蓋率，提供所有必要的工具來獲得優異的沈積效果。