二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665499 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE
ID: 293665499
晶圓大小: 12"
12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Twin chamber for Producer SE is a reactor designed to substant in process performance on any stated process level雙人分庭設有兩個獨立分庭,確保兩個分庭同時進入。各個腔室可以更輕松地處理需要多步驟序列和/或高產品產量的復雜過程。反應堆的設計基於單一的模塊化設備,具有通用的配置以及固定和移動解決方案的選擇,使其最適合特定的工藝條件。磁場用於提供均勻的加熱和最小化溫度差異。工藝管和三維線圈的設計保證了工藝溫度和產品均勻性的最大統一性和準確性。這種設計也不需要外部介質供應設備。雙室通過各種選擇提供了很大程度的靈活性。集成的等離子體源允許多種等離子體過程,如氧氣和氮反應離子蝕刻、嚙合、金屬蝕刻等。腔室還能夠提供一種壓力氣氛,從而允許在各種壓力下進行處理。Twin Chamber的控制系統具有共同的協議接口,允許使用各種軟件包來控制過程。可為具有不同權限級別的多個用戶配置控制單元,從而方便且安全地訪問控制機器。反應堆與一套診斷工具和服務相結合,以確保過程結果的準確性和防止過程漂移。它還與數據記錄工具集成在一起,以收集數據日誌以進行流程審核和召回。雙室的設計目的是在危險環境中提供盡可能最高的安全,並配備工藝室壓力斷裂監測和各種經安全認證的部件。它還具有先進的清潔資產,以防止產品汙染和提高安全性。AMAT Twin Chamber for Producer SE確保在最苛刻的生產環境中性能和使用壽命達到最高水平。這使得它成為保持高產和敏感過程統一加工條件的理想工具。
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