二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665500 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE是一種處理器和/或蝕刻器，設計用於半導體制造過程，如選擇性蝕刻。這個反應堆的發動機由蝕刻室和加工室兩個腔室組成。兩個腔室的設計都能承受高溫和真空水平。蝕刻室由電子沖擊蝕刻（EIE）源組成，具有四極管或磁控管放電模式。EIE源產生電子用於生成高能離子，從而提高蝕刻速率和工藝選擇性。該工藝室具有感應耦合等離子體（ICP）源，以產生更高長寬比的難以蝕刻材料蝕刻。ICP產生高壓等離子體用於反應性策略，導致對材料的損害較低。生產SE的AMAT Twin室的泵浦設備是為極低泄漏操作而設計的。高真空泵送可產生多種工藝操作壓力,從而實現高分辨率蝕刻加工。還提供了一個自動優化程序,它允許在腔室內進行精確的壓力控制。自動抽樣系統提供快速可靠的抽樣評估和過程監測。該單元可以同時分析不同氣體的蝕刻速率和選擇性，采用晶圓上氣體采樣。自動采樣工具的光學機器使用數碼攝像機，對樣品進行準確的評估。APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE還裝有State-the-Art Control計算機，這是一臺具有圖形用戶界面的高性能個人計算機。這樣就可以將最佳的數據記錄和控制功能應用於快速過程反饋。該資產還便於使用簡單的配方,並與基於Windows的操作模型配合使用。AMAT專為最大吞吐量和產量而設計，靈活使用各種化學品。這個腔室也是高度可靠的，需要最低限度的維護。該室配有多種配件，如氣櫃、配方容器、排氣凈化器、關閉閥等。所有這些特性使得雙室生產商SE是半導體制造工藝的理想選擇。