二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665501 待售

AMAT Producer SE Twin Chamber Reactor是一種堅固、易於操作的批處理設備，設計用於矽片的高速度蝕刻和沈積。這種先進的雙室處理系統提供了最終的過程靈活性，能夠處理蝕刻、沈積和兩種過程的組合。Producer SE Twin Chamber Reactor允許高通量處理，並能實現出色的薄膜步長覆蓋和高調的均勻性。第一室，蝕刻室，處理多達九個單獨控制的晶片和特點和侵略性氣體輸送單元和導體晶片裝載支撐。該腔室以HF為前體蝕刻氧化矽和氮化物。采用先進質譜儀和高靈敏度振動器等高端技術，可實現蝕刻速率和選擇性，結合先進的表面溫度控制和閉環晶片裝載機，可獲得良好的工藝收率和可重復性。第二室，即沈積室，具有集成的垂直淋浴頭，保證了良好的沈積均勻性和可重復性。高性能淋浴頭由先進的排氣和流量溫度測量支持，以確保低汙染水平。該腔室設計用於處理兩到六個單獨控制的晶片，並使用高溫膜如PECVD TEOS作為其前體。采用閉環晶片加載工具和先進的質譜資產，可實現沈積性能的最大化，實現良好的膜步長覆蓋。Producer SE Twin Chamber Reactor為大規模加工而設計。transport模型提供了多達50個晶片的高效自動化處理，進一步提高了設備的吞吐量。它是一個改進的系統，具有改進的控制軟件和先進的過程監控能力。它允許對每個步驟的過程參數進行完全自定義,並提供了極其快速和輕松的設置。因此,流程在最佳條件下運行,同時提高產量和縮短周期時間。這種先進的兩室處理裝置可以為蝕刻和沈積應用提供極致的工藝靈活性。