二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665727 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE是一種高性能的半導體蝕刻反應器，旨在提供對蝕刻工藝條件的精確控制，與傳統的單室蝕刻工具相比，具有顯著的均勻性和較低的缺陷率。該設備由兩個獨立的真空室組成，每個真空室都有自己的電子回旋共振等離子體源。這允許在每個真空室中對兩個獨立的基板進行精確的同時蝕刻處理。每個腔室中的兩個獨立的ECR等離子體源具有易於訪問和易於維護的特點。每個等離子體源都能夠精確控制等離子體功率、頻率、射頻偏差和氣體分布，從而提高工藝產量。此外,先進的多點閉環樣品自動化系統使該工具能夠在蝕刻運行過程中自動調整過程條件,並對蝕刻過程進行即時優化。這些腔室被安置在一個包含晶圓傳輸單元、管道和射頻（射頻）屏蔽屏蔽的機器人工具運輸框架中。這使得兩個基板在兩個腔室之間的快速和容易轉移，汙染最小。框架還允許更有效的維護，因為它不需要手動進入房間。機器的核心是它的軟件控制界面,它提供了一個直觀的圖形用戶界面,便於工具設置和過程控制,以及強大的功能,如自動過程優化和監視、故障診斷、用戶安全、警報、數據記錄以及FDA GxP符合21 CFR第11部分。這樣可以輕松準確地操作具有高度可重復蝕刻結果的資產。AMAT Twin chamber for Producer SE是一種功能強大的蝕刻工具,使工程師和科學家能夠獲得高質量的精密蝕刻結果,同時減少工藝時間和成本。憑借其先進的功能、在可靠性方面的良好聲譽和卓越的性能,它為蝕刻應用程序提供了一個極具成本效益的解決方案。