二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665728 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE is a specialized reaction chamber designed to provided high-performance processing of wafer subst該設備有幾種配置，以滿足不同生產工藝的需要。雙室具有兩個高真空反應室：一個用於沈積氧化矽、多晶矽、氮化物或其他化合物的下室，以及一個用於蝕刻和其他操作的上室。下腔內裝有多種來源，為處理均勻性而進行溫度控制。它有一個加熱的基板在加工過程中保持晶圓溫度，以及兩個單獨的壓板系統均勻的膜沈積。該室還設有高壓氣體輸送系統和自動氣體管理單元。上腔設計用於處理深矽蝕刻和各種LPCVD工藝等操作。它配備了全選的陶瓷襯裏線性射頻源，以及多種陶瓷和石英陽極板進行深度蝕刻。腔室還包括一臺高壓機器，用於輸送不同的氣體進行蝕刻。兩個分庭的設計旨在共同努力，提供高性能的處理。下腔提供均勻的材料沈積，而上腔則根據需要蝕刻和沈積各種其他材料。該工具還配備了高溫加熱元件，可改善高溫過程中晶圓的均勻性，如鈦沈積。資產還包括一個自動晶圓處理模型，用於在兩個腔室之間傳輸晶圓。該設備旨在提供快速、高效的晶圓處理。該系統還設計為與Process Control軟件和主機計算機集成，允許實時監控和控制過程參數。AMAT Twin chamber for Producer SE的設計旨在為一系列應用提供高性能晶圓處理。兩個獨立的腔室和一個自動晶圓處理單元的組合使機器能夠以減少的周期時間提供質量結果。這使得它成為那些希望改進其生產過程的人的理想解決方案。