二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63 #9186153 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTS Ultima AZX-63是一種先進的等離子體蝕刻反應器,旨在為當今最苛刻的等離子體蝕刻工藝提供卓越的電氣和化學控制。AMAT Ultima AZX-63建立在可靠和行之有效的平臺上,具有強大的功能,適用於要求最苛刻的蝕刻作業。其多頻、脈沖電源為單層或多層蝕刻提供了最大的靈活性和無與倫比的性能。APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63專有的直驅機電平臺提供了明顯更高的系統和動力學分辨率，顯著減少了粒子引起的缺陷。這將轉化為產品產量和輸出驅動器的顯著改進,以實現最高級別的過程效率。此外，該系統還包括一個大氣壓力等離子體發生器，該發生器能夠在反應性和非反應性過程氣體中工作，如氙氣和氮氣。這確保了蝕刻過程中更大的均勻性和可重復性。Ultima AZX-63裝有商標Cyclonus™機械泵.這款美觀設計的泵是行業中效率最高的，噪音和振動極低。堅固的轉子技術和密封的電動機腔室相結合，可以防止來自環境的任何幹擾。其獨特的設計還能實現高水平的壓縮和真空控制，允許極精確的蝕刻結果與低缺陷。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63還具有集成的壽命監控選項,如壽命傳感器、自動基板對準器和等離子體Discriminator™。所有這些都使得獲得最高的工藝產量和快速建立新的基材工藝基線變得容易。為了確保實驗室的最高質量和安全，AMAT Ultima AZX-63配備了先進的安全包。這包括帶有警告信標、可調流量安全閥和遠程燃燒器控制功能的報警系統。最後,APPLIED MATERIALTIES Ultima AZX-63通過自動關閉和錯誤診斷功能,努力實現易於維護和操作,以滿足服務和維護需求。憑借先進的等離子體蝕刻能力和精密的安全特性，Ultima AZX-63是精確等離子體蝕刻需求的理想選擇。其性能和可靠性旨在跟上要求最苛刻、精度最高的等離子體蝕刻應用。