二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #293797292 待售

AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima HDP反應器是用於等離子體沈積和蝕刻薄膜的等離子體加工室。它旨在在精密薄膜沈積和蝕刻過程中提供高質量的均勻性和生產率。HDP反應堆配備了先進的電子回旋共振（ECR）磁場，在大面積上提供均勻的等離子體蝕刻和沈積。ECR產生均勻的電場來電離和加速氣體分子，產生具有更一致蝕刻和沈積的高度均勻的等離子體。HDP反應器由不銹鋼構成，具有大的加工室，冷卻劑氣體流過腔室流量高，以提高熱均勻性。它還具有雙沈積源增強均勻性，能夠在多個等離子體之間交替切換以便沈積多層。AMAT Ultima HDP是一種精密蝕刻和沈積薄膜的強大工具。它提供了行業領先的吞吐量、一致的均勻性和優於傳統等離子加工工具的微觀結構控制。改進的均勻性和溫度控制部分是由於穿孔墻設計使氣體均勻地通過加工室。應用材料Ultima HDP包括先進的壓力控制和傳感技術及能力。HDP反應堆可以顯著擴展和集成工藝,為客戶提供更好的吞吐量和生產率,同時提高沈積和蝕刻工藝的控制水平。它是一個通用的解決方案,能夠與流程的其他組件直接集成,並集成到現有的清潔室環境中。Ultima HDP是AMAT系列等離子體加工工具的一部分，在蝕刻、沈積和表面改性方面具有多種功能。它旨在滿足當今高科技研究中心和制造工廠的需求。在APPLICED MATERIALS提供的全公司客戶支持的支持下,客戶可以從他們的技術和生產過程中獲得最佳效果。