二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #9315128 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP（高密度等離子體）反應堆是一種最先進的工藝工具，設計用於制造先進的微電子電路和器件。AMAT Ultima HDP反應堆是與Plasma-Therm合作開發的，可提供多種材料和設備的高通量生產，包括新型的finFET和雙柵極結構。應用材料ULTIMA HDP反應堆將高密度等離子體（HDP）源與多級級聯等離子體放電室結合在一起，該室被石英室體包圍，並由冷壁幹法真空設備排空。這種技術組合允許對最難加工的材料和設備進行高通量處理。Ultima HDP反應廣泛的氣體，包括Ar、H2、N2、O2和H2O。氣體種類繁多，加上陽極電偏置，可以精確控制化學和物理加工參數，從而能夠加工各種材料，包括Si、SiGe、SiC和GaAs。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP反應堆配備了一套全面的診斷和實時監控系統，可用於全程監控過程條件。實時監測單元包括氣體采樣、粒子計數、壓力監測、溫度監測、電流量和偏差監測。這臺實時監控機使用戶能夠調整和優化過程參數，以提高過程的可重復性和性能。摻入的氣體劑量工具還可以改進對工藝化學的控制，並提高氣體利用效率。AMAT Ultima HDP反應堆憑借其智能安全系統還提供了增強的安全功能。這些功能包括氣體泄漏時自動關閉、壓力或溫度突然變化或電湧。資產還會在發生緊急情況時提醒操作員，使他們能夠采取必要步驟，確保流程安全。綜上所述，APPLIED MATERIALS Ultima HDP反應堆是一種最先進的工藝工具，能夠制造先進的微電子電路和器件。其高密度等離子體源與級聯等離子體放電室的結合，加上與Plasma-Therm的合作，使得Ultima HDP成為同級中最先進的加工工具。其全面的診斷和實時監控模型使流程參數的精確控制和改進的流程可重復性成為可能。它還提供增強的安全功能，以確保緊急情況下的過程安全。