二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima Plus #9256871 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Plus是一種下一代化學氣相沈積（CVD）反應堆設備，設計用於先進的材料處理應用。這種用途廣泛的導體系統使金屬、半導體、氧化物、氮化物和磁/鐵電膜等多種材料的批量處理成為可能。它是公司Ultima®工具的增強版本。該導體的設計采用高效材料加熱、均勻等離子體性能、工藝控制創新的一體化組合。石英反應堆包括兩個邊緣屏蔽等離子體源，一個由射頻發電機供電的雙敏感器和一個加熱的升力銷。升力銷設計用於將加熱的晶片從磁感器均勻轉移到反應器中的氣箱。AMAT Ultima Plus的電機控制器允許用戶精細調整磁感器和氣箱之間的距離，以調整處理空間。它還使用戶能夠準確控制整個晶片的溫度以及晶片在等離子體反應堆中心的位置。該反應堆具有低壓和多區能力，工藝溫度範圍從室溫到600°C。它還為GaN、金剛石和碳納米管等材料提供低壓加工，並且可以在高壓加工不合適的情況下加工各種材料。APPLICED MATERIALTS Ultima Plus標配原位橢圓偏振法、拉曼光譜法、反射法等診斷過程。此外,它還具有多管負載鎖、不銹鋼波紋管、四磁控管偏置等離子體源、強大的脈沖調制等離子體源、自動操作控制器和真空單元。這臺機器的設計是為了優化吞吐量，同時盡量減少汙染的可能性。Ultima Plus使用戶能夠通過客戶定義的參數（如時間、壓力、射頻功率和溫度）快速準確地控制其流程,以精確地撥入最佳方案。反應堆中包括的先進安全系統保證安全運行，並保護工藝環境不受任何類型的汙染。