二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293600876 待售

ID: 293600876
晶圓大小: 12"
優質的: 2018
HDP CVD System 2018 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X反應堆是一種高性能、大容量的半導體加工設備,設計用於OLED、TFT和FinFET器件制造的廣泛應用。利用AMAT專有技術,AMAT Ultima X在極端溫度和高壓下運行,以實現生產領先半導體器件的高效制造過程。利用應用材料Ultima X反應堆獨特的保溫特性和高容量處理能力,用戶能夠優化設備制造過程,而不會對產量和生產率造成不利影響。UltimaX反應堆利用封閉的反應堆室進行快速熱處理,減少冷卻幹擾和過程汙染。腔室最大限度地提高了溫度均勻性,在整個腔室中提供了完整的壓縮或高溫過程。它還提供了與外部環境的隔離,這有助於最大限度地減少壓力損失和減少工藝變化。該產品采用整體式加工室設計,減少汙染物堆積,同時保持精確的溫度均勻性,並采用噴槍組件塗覆均勻的塗層。AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X系統還具有全自動的材料管理和傳輸模塊。這一特點使物料處理效率更高,提高了生產物料的質量。此外,設備的物料處理機符合最嚴格的安全標準,從而提高了操作員的安全性。AMAT Ultima X還包括一個可選的集成統一供應源,實際上簡化了供應鏈,縮小了晶圓制造過程中所需的材料管理範圍。最後,APPLICED MATERIALTIES Ultima X反應堆具有出色的晶圓處理能力,具有堅固的晶圓處理工具,每個循環操作的晶圓尺寸高達600mm,並采用低調設計,可最大程度地減少阻塞。其集成的真空提升子系統有助於自動化處理過程,從而使每個組件更有效地進出反應堆腔室。這使得半導體加工周期的吞吐量更高,產量更高。此外,資產利用幾種先進的監測技術和工具來確保晶圓溫度和吞吐量的最佳控制。
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