二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293754394 待售

AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X反應器是一種用於沈積薄膜的最先進的工具，對沈積的均勻性有前所未有的控制。利用超高真空技術、電子回旋共振等離子體源和先進的工藝控制，提高了沈積薄膜的性能和厚度均勻性，具有較高的通量和最大的工藝可靠性。AMAT Ultima X反應堆提供全自動的過程排序和閉環過程控制，具有可調壓力控制、雙區晶圓旋轉和先進的過程計量。這確保了實現最理想的工作條件，從而實現了一致和可重復的結果。ECR等離子體源提供均勻、高能量的氧等離子體，並有一個寬廣的過程窗口，允許廣泛的沈積過程，包括蝕刻、氧化、沈積、退火和薄膜鈍化。應用材料ULTIMA X反應器還具有可交換的線性運動級，允許快速和可靠的晶圓負載。它還具有用於加工室之間有效晶圓轉移的轉移室，提供了高度的過程靈活性。Ultima X反應堆還能夠並行運行多個進程，提供較大的吞吐量和高水平的處理靈活性。該系統在一個腔室中最多可容納八個進程，可配置多個晶圓大小。AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X反應器提供低溫沈積和高溫處理，允許超低沈積溫度而不犧牲工藝性能。這樣就能在高沈積速率下實現可靠和一致的沈積。AMAT Ultima X反應堆是一種尖端工具，提供最高級別的過程控制、可重復性和均勻性，同時提供高水平的吞吐量和靈活性。它是在薄膜沈積過程中獲得最可靠、最可復制結果的重要工具。