二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #9192804 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima X是一種蝕刻沈積反應器,具有一套關鍵特性和技術,專為當今半導體制造應用中使用的最先進的蝕刻和沈積過程而設計。AMAT Ultima X是AMAT最新、最先進的蝕刻沈積系統之一,為晶圓廠帶來了極致的蝕刻沈積工具能力。APPLIED MATERIALTIES Ultima X由Applied自己的增強型高級等離子體Contol (EAPC)技術提供動力,該技術是一套等離子體控制解決方案,為用戶提供動態匹配、協同處理優化和過程仿真功能的組合。EAPC可實現過程之間的動態過程控制和一致性,同時為蝕刻和沈積提供卓越的效果。Ultima X具有多層次、多區域的腔室,允許用戶在單個腔室中執行各種處理步驟。這種先進的腔室設計能夠容納長度可達27英寸的基板尺寸,使設備能夠處理各種基板。AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X還配備了Applied的多室等離子體控制技術,利用多射頻(RF)源創造精確的等離子體條件。這使系統能夠支持各種過程,如蝕刻、沈積和清潔,並使用先進的光刻和計量工具進行精確的過程控制。該單元還配備了高級軟件套件,使用戶能夠自定義執行參數和設備配置文件。這使得用戶可以輕松優化其流程,並有助於最大程度地減少流程的可變性。AMAT Ultima X還具有熱插拔中和升級套件,可用於增強蝕刻/沈積過程中的穩定性。此升級可以延長工具生命周期,同時確保更可靠的結果。總體而言,APPLIED MATERIALTIMA Ultima X是一臺功能強大且先進的蝕刻和沈積機,它提供了一套高級功能和技術。它旨在為蝕刻和沈積過程提供一致的性能和優異的效果。憑借其先進的功能,Ultima X是高端和先進制造中半導體制造的理想選擇。
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