二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9116892 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor是一種高精度、高效率的工藝工具，設計用於制造基於先進、低溫、薄膜晶體管（TFT）的平板顯示應用。它是AMAT Ultima系列工藝工具的旗艦車型。應用材料Ultima反應器設計用於薄膜沈積和蝕刻過程.它具有標準的單室系統，允許同時向基板供應多種氣體。Ultima反應堆的設計包括獲得專利的射頻等離子體產生系統、用於精確基板夾緊的靜電卡盤、自動反饋系統和集成溫度控制器。基板保持在卡盤表面，與反應堆腔內的等離子體直接反應。AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima Reactor能夠沈積或蝕刻薄至5納米的薄膜，可以達到5 nm或更高的均勻性。它還能夠在室溫（20-200⁰C）下沈積和蝕刻矽酸鋁和金屬氧化物薄膜。反應堆還可以在各種壓力下處理各種氣體和液體化學物質，以及在高密度等離子體下沈積材料。此外，反應堆有模塊化設計，允許它被定制到一個特定的過程。AMAT Ultima反應堆易於使用，生產效率高。它為各種薄膜的沈積和蝕刻提供了可靠和可重復的方法，包括多晶矽、氟化無定形矽、金屬氧化物和鋁矽酸鹽膜。反應堆還與各種基材兼容，如玻璃、聚酰亞胺、石英。最後,APPLIED MATERIALTES Ultima Reactor提供了長壽命的可靠工藝性能.