二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9163587 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima反應堆是一種高性能物理氣相沈積（PVD）設備，設計用於超高密度的薄膜沈積應用和大面積部件的生產。該反應堆適用於大規模生產用於光伏、電信、LED、顯示器等基礎設施應用的組件。AMAT Ultima反應器針對薄膜厚度下的薄膜平整度和總反射率均勻性進行了優化。這使得它成為需要高度均勻的陶瓷、金屬和復合材料層的應用的理想選擇。反應堆由一個超精密的薄膜控制系統、一個處理室組成，它本質上像一個真空圓頂、一個能夠達到極端溫度的底部加熱器組件以及一個頂置的環形源濺射模塊。反應堆還包括一個旋轉式多主軸負載鎖，可以方便地進行底物的裝卸，同時保持腔室在真空條件下。其自動芯片加載單元和機器人處理機也允許處理大型晶片。應用材料Ultima反應堆的最大制造速率為每小時30um厚度，濺射沈積速率高達180分鐘。該工具還與先進的過程監控技術集成在一起，使操作員能夠充分控制他們的過程參數，同時確保優越的產品質量。Ultima反應堆的高效設計，使得大面積元件的生產具有精確度和均勻性。它的高級流程控制系統允許流程工程師根據需要監視、跟蹤和調整參數,從而實現優化流程和最大吞吐量。資產先進的真空和高效的氣流系統促進了穩定、清潔的環境，生產出均勻的材料層。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima反應堆是用於光伏、電信、LED、顯示器和許多其他應用的高批量生產精密層材料的理想工具。AMAT Ultima反應堆以其優化的制造速率、先進的工藝監控能力和均勻的層級生產，是大型薄膜沈積作業的理想選擇。