二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9190317 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反應堆是一種先進的半導體器件等離子體蝕刻系統。該系統專為高性能、低成本的加工而設計,能夠對各種材料和高寬高比結構進行精密蝕刻。AMAT Ultima反應堆由負載鎖定室、電子回旋共振（ECR）源和感應耦合等離子體（ICP）源組成。載荷鎖室可以在蝕刻前引入晶片和預先清洗晶片。ECR源產生強大的高頻電磁場，產生高能電子。這些電子與等離子體相互作用，產生高度均勻和電離的等離子體。然後，ICP源向等離子體提供額外的能量，並添加倒角氣體和反應物氣體。應用材料ULTIMA反應堆通過先進的過程控制算法提供過程重復性，並進行了優化以減少氣相和顆粒相沈積。它還會產生極短的邊,非常適合高縱橫比結構。此外，它具有廣泛的工藝能力，包括幹蝕刻、物理氣相沈積（PVD）、低溫多晶矽（LTPS）、液晶顯示（LCD）工藝。Ultima反應堆采用可定制配方優化性能。它速度驚人，吞吐率高，蝕刻率高，沈積選擇性好。它的過程靈活性使其適合各種過程配置,包括單晶圓、群集工具和具有同步過程的多蝕刻器。它還具有易於使用的配方編輯工具,使用戶能夠修改流程參數以適合特定的應用程序。AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反應器是一種高度先進的等離子體蝕刻沈積系統，具有精確的蝕刻沈積能力，具有高度可重復的過程控制，適用於廣泛的半導體過程。AMAT Ultima反應堆高效、靈活、技術先進，是制造高復雜微電子的理想選擇。