二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9298247 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima reactor是用於半導體制造過程中矽基基板介電蝕刻的下一代工具。AMAT Ultima是一種強大的、高通量的等離子體蝕刻反應器，可以處理大型晶片，有效蝕刻材料而無需額外的化學品。APPLICED MATERIALTIES Ultima反應堆的先進技術為亞微米和超大規模集成（ULSI）工藝中的蝕刻提供了更高的蝕刻一致性、更高的吞吐量和出色的工藝控制。Ultima反應堆基於三重獨立基座平臺，支撐三個不同的工作站，每個工作站都有自己的工藝室。機載計算機系統用於控制過程參數，監控溫度、壓力、大氣參數等環境條件。其先進的功能包括堅固的真空系統、多種等離子體源以及氣體處理能力。AMAT/APPLIED MATERIALS ULTIMA的等離子體源能夠在高達4500°C的溫度下產生等離子體，其超低功率技術具有保持高蝕刻速率的能力，離子轟擊最小，選擇性高。這樣可以確保更高的產量和高質量的結果。AMAT Ultima反應堆還能夠利用其板載ECR和感應耦合等離子體源進行掩蔽和塑料沈積，以及對氧化物層下的子層進行控制氧化。機載計算機系統集成了多種復雜的功能，如實時過程監控、自動配方加載和參數調整，以及先進的故障診斷和診斷軟件。它還提供數據記錄和分析,使用戶能夠訪問即時結果並節省寶貴的時間。APPLICED MATERIALTIES Ultima可以處理多種選擇性和均勻性極佳的材料，使其成為矽基基板介電蝕刻的理想選擇。再者，Ultima反應堆性價比高，能效高，低功耗12.52千瓦，適合全天候生產。它還通過其原位等離子體源清潔能力確保了環境安全操作，從而消除了對危險化學品的需求。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反應堆是用於半導體工業中矽基基板介電蝕刻的先進、高能力的工具。它為亞微米和超大型集成技術提供了出色的一致性、高吞吐量和過程控制,使其成為工業應用的理想選擇。