二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314609 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima Reactor是一種用途廣泛、占地面積小、雙源等離子體蝕刻設備,其設計目的是在廣泛的應用中實現高通量、高生產率的蝕刻。AMAT Ultima反應堆利用先進的殘留氣體分析（ARGA）技術，為蝕刻提供了一個幹凈的環境，並提供了對工藝參數的精確控制，以實現可重復的結果。啟動時,應用材料ULTIMA的每個工藝室都經過預處理,以優化後續蝕刻配方。此過程可確保高質量的結果、可重復性和生產率。Ultima靈活的架構允許它配置有多個源、發電機類型、高頻電源和線性流配置。AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima還具有兩個負載鎖定系統,旨在實現快速的負載周轉時間,以便高效地裝載和卸載基板。負載鎖具有針對高純度環境的氣體洗滌功能,以及一系列自動化過程,可最大限度地減少用戶幹預,從而實現更好、更快的蝕刻。AMAT Ultima具有高級控制系統,旨在簡化流程。該控制單元提供了軟件和圖形豐富的基於GUI的界面,使用戶能夠靈活易用地操作計算機。該軟件支持各種語言，使其成為最方便用戶使用的界面之一。APPLICED MATERIALS ULTIMA具有高性能靜電卡盤（ESC） technoloy,在蝕刻過程中提供卓越的均勻基板覆蓋。其高精度的再循環閥工具確保整個腔室內的氣體排出均勻，實質上保持均勻的壓力和等離子體濃度，以確保最佳的蝕刻性能。Ultima還具有氣體噴射系統，以便在蝕刻過程中更好地控制氣體混合物。這使工程師能夠根據自己的特定需求定制配方,通過優化氣體使用率和蝕刻率進一步降低成本。最後，AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima是一種高度通用、最先進的雙源等離子體蝕刻資產。其先進的功能和精確的控制功能提供了幹凈高效的蝕刻環境,使客戶能夠快速實現滿足復雜蝕刻要求所需的精確度。AMAT Ultima是一種以具有競爭力的價格實現高精度蝕刻的高度可靠和經濟高效的方法。