二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314611 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima Reactor是一種最先進的等離子體蝕刻反應堆,旨在滿足業界最具挑戰性的蝕刻要求。這種功能廣泛、功能強大的工具為板級和晶圓級處理提供了先進的控制、速度和準確性。由於AMAT在等離子體蝕刻和設備控制方面的廣泛知識,AMAT Ultima能夠可靠地產生無與倫比的精度和可重復性的結果。APPLIED MATERIALTIMA具有橫向模塊化設計,因此可以根據客戶的特定需求配置系統。設計的另一個好處是,由於模塊化方面的原因,維護成本大大降低。Ultima是使用靜電卡盤(ESC)構建的,可提供出色的控制、重復性和可靠性。該單元提供了完整範圍的基板選項,包括4「、6」、8「和12」基板。它還配備了最新的射頻放大器技術,在蝕刻過程中提供無與倫比的控制、均勻性和工藝重復性。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima還帶有獨特的晶圓平面化特性,如VCSEL(垂直腔面發射激光器)和定向蝕刻,以提高精度。平面化、等離子體摻雜和間隙填充等高度集成的工藝特性也可提供。其他特點包括:大氣等離子體處理可實現經濟高效的多重圖樣;高分辨率光刻的高縱橫比處理;靈活的工藝室不穩定性,可實現經濟高效的集成。AMAT Ultima還通過集成的基於Web的控制和監視機器提供高級控制和監視功能。此工具允許客戶輕松監控流程參數和晶圓映射,並確保所有關鍵流程參數保持在理想範圍內。它還允許用戶從世界任何地方輕松遠程調整參數。總體而言,APPLICED MATERIALTIMA是解決所有等離子體蝕刻需求的完美工具,它采用了最先進的技術和功能。它提供了無與倫比的性能、卓越的準確性和可重復性、經濟高效的集成和高級控制功能。它是一個功能齊全、經濟高效的解決方案,可滿足任何蝕刻需求。
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