二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314618 待售

AMAT/APPLIED MATerials Ultima是一種精密的原子層沈積（ALD）反應器，專門為材料薄層沈積在各種基板上而設計。AMAT Ultima是一種可用於原位評估的研發工具，可用於將材料的微薄層可靠地沈積到晶圓、納米顆粒和粉末等基材上。應用材料Ultima已針對各種薄膜應用進行了優化,這些應用包括：電介質、氧化物、氮化物、金屬和新型設備的材料。Ultima ALD反應器通過自限表面控制化學原理運行，這是基於前體分子的連續單層吸附到加工過的底物上。這種獨特的反應器采用高度可控的真空室、精確輸送前體的高精度質量流控制器（MFC）、用於原位過程監測的石英晶體微平衡（QCM）、用於多層和圖樣處理的先進旋轉基板支架以及用於快速樣品導入的快速載荷冷凍紙的組合。AMAT/APPLIED MATERIALTS Ultima能夠提供對反應參數如工藝壓力、氣體流速、溫度、反應時間和沈積循環數的精確控制。反應堆的高級控制能力使用戶能夠實現對沈積過程的精確控制，並能夠對不同的原位沈積過程進行評估。此外，它的自動反應循環確保了可靠、可重復的結果，確保了系統的方便和高效使用。AMAT Ultima采用的ALD工藝具有很高的原子精確度.這種精確度允許在大面積上以及在一系列有圖樣的基板上沈積均勻的層。APPLIED MATERIALS ULTIMA沈積的層本質上也極為薄且保形，使得複雜的三維結構得以以高度的重復性和精確度創造。Ultima是在研究和制造環境中用於薄膜沈積的一種極為通用且有價值的工具。它能夠在廣泛的應用中準確可靠地沈積高度保形的薄膜,這使其成為那些在ALD過程中尋求精度、控制和準確性的人的理想選擇。