二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9315107 待售

AMAT/APPLIED MATerials Ultima是一種高度先進的反應性離子蝕刻（RIE）工具，設計用於半導體級蝕刻和材料加工。它用於集成電路的制造和開發，以及其他先進技術和材料加工領域。AMAT Ultima是建立在一個高精度的大面積真空封閉室。在腔室內部，許多不同的微加工過程發生在安全、清潔和密封的環境中。使用這種工具可以做的許多過程有化學氣相沈積（CVD）、化學機械平面化（CMP）、深蝕刻、臺面蝕刻、介電蝕刻和鎢化學機械拋光（CMP）。根據正在制造的產品類型，室內的環境是根據基板的特定材料特性定制設計的。應用材料Ultima對於傳統的RIE系統有幾個優點。憑借其卓越的精度和速度，Ultima可以用來蝕刻比傳統RIE系統更復雜的特性。其腔室更精確，產生更均勻的材料。它可以處理的溫度範圍也更大，允許使用更具攻擊性的工藝，如幹蝕刻。AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima還采用了幾種先進的安全和監控系統。操作人員可以從室外監視設備，從而對蝕刻過程進行更大程度的控制和監督。幾個傳感器並入腔室，監測腔室壓力、基板溫度、蝕刻速率、工藝氣體成分等工藝參數。AMAT Ultima是一款功能強大、靈活可靠的反應性離子蝕刻工具，能夠在現代半導體、MEMS和醫療設備應用中產生非凡的效果。其廣泛的蝕刻類型和加工各種材料的能力使其與其他蝕刻工具不同。隨著對更小、更快、更復雜的設計需求的增加,APPLIED MATERIALTIMA Ultima可以降低成本和時間,同時仍能產生出色的效果。