二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9351211 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反應堆是一種最先進的真空沈積設備，設計用於半導體和其他半導體相關基板。與傳統技術相比,該系統可提供卓越的吞吐量、均勻性和可靠性。適用於多種應用，如光刻、蝕刻、薄膜生長等。反應堆是一個精密的單腔單元，具有獨特的晶片源設計，具有高度可重復的水平幾何形狀，在整個批次的基板上均勻。該機器還有一個三束光監測工具，允許微波能量測量，可能允許最後一英裏功率故障檢測。AMAT Ultima反應堆能夠使用標準濺射源進行物理氣相沈積（PVD）。還可以進行反應性濺射、蒸發、離子鍍層和化學氣相沈積（CVD）等交替真空過程，從而實現更大的通用性。該資產具有高級流程監控功能,以及一整套數據分析和報告功能。各種原位光譜診斷都有，包括光發射光譜、俄歇電子光譜、X射線光電子光譜、電子能量損失光譜。這使得沈積過程中的過程控制達到前所未有的水平。反應堆還提供先進的過程自動化功能，從而實現更高效的多運行操作。它包括用於快速過程設置和優化的自動化過程優化功能,以及用於原位晶圓表征的內置計量工具。它的高速運動和晶圓處理系統允許快速、可重復的過程。最終，APPLIED MATERIALS Ultima反應堆為用戶提供了一個可靠、可重復的工藝環境，旨在幫助芯片制造設施降低生產成本並最大化產量。其集成的過程能力、先進的過程診斷和自動化使用戶能夠實現卓越的吞吐量、統一性和可靠性。它還提供了一系列適合現代半導體應用需求的功能。