二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Wafer orienter chamber for P5000 #9269013 待售

ID: 9269013
晶圓大小: 8"
8" Wafer chuck, 8" Wafer lift, 8" Chamber lid Part number / Description 0010-70247 / Laser optics, Assy 0010-20339 / Orienter rotation motor, Assy 0100-20068 / PCB, CCD 0090-76058 / Wafer orienter, PCB.
AMAT P5000 Wafer Orienter Chamber是一種創新的反應堆,它能夠以更高的精度和控制來提高先進材料的產量。該P5000設計用於多種工藝類型,包括沈積、蝕刻和清洗多種晶圓基板。這臺機器利用了最新一代的硬件,擁有自動化的過程控制器,升級的安全系統,高精度的對準,以及增強的真空能力。該P5000晶圓Orienter室提供了一個獨特的大產能。這樣可以生產直徑最大為12英寸的晶片,最多可同時處理五種基材。每個晶片都有定位,使用先進的數字光學子系統可以精確地確定和調整晶片的確切位置。這確保了晶片在生產過程中的精確和可重復對齊,這對於生產更高產量的材料是必不可少的。晶圓取心可以配置為能夠沈積各種先進材料,如氧化物、氮化物、薄膜和其他高性能材料。該反應器采用高靈敏度石英晶體監測器和質量流控制器,能夠精確控制整個沈積過程。這使操作員能夠精確管理輸送氣體的分布和溫度,從而實現材料的精確沈積和整個晶圓的均勻性。該P5000還通過監測氣體和真空壓力、反應堆內部的氧氣水平以及室內溫度範圍等安全參數,提供了無與倫比的安全系統。它還配備了用於額外保護的外部硬件,如惰性氣體鎖定,防止加工氣體進入加工室或其他區域。P5000 Wafer Orienter Chamber將最新的硬件技術與成熟的材料生產技術相結合,提供最大的便利和控制。對於那些需要高效、精確地加工大小批次材料的人來說,這是一個完美的選擇。
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