二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Endura #293651962 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura寬體載荷鎖是一種專門設計的反應器，能夠使薄膜材料在各種基材上均勻沈積。該設備旨在最大程度地提高沈積均勻性，最大程度地減少汙染，並為薄膜沈積工藝提供經濟的解決方案。Loadlock是Endura薄膜沈積系統的一個重要組成部分，因為它可以有效地裝載、對準和轉移基板進出沈積室。寬體載荷鎖有兩個載荷端口和兩個疏散/清除端口，這兩個端口都用O形圈密封的通風口進行挖掘，以維持工藝環境。鎖載室的底座安裝在單元底部，並設有用於基板轉移的提升板。加熱的閘閥可防止在基板轉移過程中工藝室受到汙染。負載鎖裝有兩件式石英蓋，能夠間歇性的開合，以最大程度地減少工藝中斷。一旦蓋子打開，真空機構就被接合，這使得基板可以進入腔室而不會對過程造成任何幹擾。鎖載室被一個預混合的、非反應性的氮氣/氙氣基大氣層包圍，有助於防止汙染。使用雙氣體混合物消除了凈化氮氣或氙氣管線的需要，降低了維護成本。鎖載室內部塗有耐用的射頻電源、紅寶石窗和粗切擴散擋板，確保薄膜沈積均勻。寬體載荷鎖專為Endura薄膜沈積機而設計，能輕松處理多種基板，從大的（300 x 300 mm）到小的（小到幾微米）。AMAT Widebody loadlock for Endura除了具有薄膜沈積能力外，還配備了排氣煙囪，用於最大限度地減少工藝和沈積副產物進入工藝室。這種排氣煙囪有助於保持安全清潔的工藝環境，並確保最佳工藝均勻性，以實現一致的薄膜沈積。該工具還包括一個水滴狀的蓋子，為資產增加額外的保護，同時允許高效和安全的基板轉移。應用材料Endura的寬體載荷鎖是一個可靠而堅固的模型，設計時考慮到了效率和均勻性。該設備旨在最大限度地減少汙染，最大限度地實現薄膜均勻沈積，同時也為薄膜沈積過程提供經濟的解決方案。Widebody loadlock for Endura憑借其先進的技術和耐用的部件，是滿足薄膜沈積需求的理想選擇。