二手 AMAT Centura High-K #293616807 待售

AMAT Centura High-K是專門為300 mm晶圓制造而設計的反應堆設備。它是一種可以將蝕刻氣體送至的反應室，以便在植入後執行清潔步驟。該系統的設計目的是通過提供高速流動來最小化顆粒物，這些高速流動可以在顆粒沈降在晶圓表面之前迅速清除顆粒。Centura High-K的顯著特點包括雙區域、平行流動的廢水註入單元、聲學聚焦、化學減排、熱管理和過程控制程序以及高效的熱回收系統。雙區機允許反應氣體以高精度和速度註入反應室內。這減少了完成該過程所需的時間和可以汙染晶片的顆粒數量。聲學聚焦是AMAT Centura High-K的另一個重要特點。這項技術利用聲波創造出一個極聚焦蝕刻氣體的通道，在離開反應室後迅速消散。這具有顯著減少汙染機會的優點，因為反應室外的氣體很少。Centura High-K還提供化學減排選項,以確保符合高級清潔室法規。這個工具使用了一系列過濾器和吸收器來捕獲和清潔來自反應室的危險化學物質排放。此外，它還具有熱管理和控制功能，可對可重復結果進行精確的溫度控制。最後,AMAT Centura High-K配備了高效的熱回收系統,可從該過程中回收能源並利用它來降低總運營成本。這有助於提高設備性能並減少對環境的任何潛在影響。總體而言，Centura High-K是300 mm晶圓制造的優秀可靠反應堆資產。它提供了許多先進的功能,如聲學聚焦、化學消減、熱管理和控制功能,以及高效的熱回收系統。所有這些特性結合在一起，提供了一個極好的工藝體驗，並最大限度地減少晶片的汙染。