二手 APPLIED MATERIALS Centura DXZ #114651 待售
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已售出
ID: 114651
4 channel system, 8"
Narrow body load locks
Manual lid hoist
HP Robot
CH A, B, C, D –DxZ Silane Oxide
Direct drive throttle valve
AE RFG 2000-2V
10torr Baratron
100torr Baratron
Gases (Unit MFCs):
300cc N2O
3SLM N2O
5SLM He
3SLM CF4
150cc SiH4
5SLM N2
Seriplex Gas Control
CH E – Multi slot cool down
Bottom feed exhaust
Facilities bottom feed
OTF Centerfind
1998 vintage
As-is, where-is.
APPLIED MATERIALS Centura DXZ是一種高產量、低成本的半導體加工設備,主要設計用於深亞微米器件的制造。該系統采用先進的沈積技術,對高保真度和重復性的材料進行沈積、蝕刻和圖案層。這一過程由獨特的高速前後拼貼技術驅動,可實現更快的沈積速率以及出色的均勻性和對特征形狀的控制。這使制造商能夠更快、更經濟地創建半導體器件,同時保持嚴格的過程控制。作為反應堆裝置,Centura DXZ的設計目的是將薄薄的材料層沈積在基板或「晶圓」上。該機器利用一個專有的工藝室,能夠沈積低至0.1微米(100納米)的單層或多層受控厚度。高速拼貼技術提供卓越的基板吞吐量和對特征形狀的精確控制。該工具具有沈積多種材料的能力,包括金屬、電介質和其他半導體材料,提供多用途。APPLIED MATERIALS Centura DXZ過程控制資產是模型的重要組成部分,為控制反應堆提供了強大的功能。這包括過壓保護、精確的物料分配、精確的溫度控制、精確的物料堆積監控等功能。這確保了更緊密的流程窗口,使操作員對其結果更有信心。Centura DXZ設備是制造深亞微米半導體器件的革命性反應堆。其專有的腔室和瓷磚技術使工程師能夠快速沈積材料,具有出色的均勻性和可重復性,而其過程控制系統則提供嚴密的控制。APPLIED MATERIALS Centura DXZ單元具有低成本、高產量的設計,是需要精確和通用性能的制造商的理想選擇。
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