二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #151071 待售
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APPLIED MATERIALS Endura 5500是為最苛刻的半導體工藝而設計的先進、先進的一代晶圓蝕刻反應器。該反應堆能夠在積極的循環時間提供高質量、高產的工藝,從而提高半導體器件制造的有效性和效率。Endura 5500提供了許多特性和功能,可實現高效可靠的性能。反應堆具有多站能力,最多可有3個站。各站包括獨立的氣體註入、過程控制和純度監測系統。這使用戶能夠根據自己的特定要求快速、準確地配置系統。反應堆還配備了先進的自動化軟件包,其中包括全遠程控制、預測警報和遠程診斷。反應堆也被設計成高度可靠。它具有堅固的機械設計,包括熱管理工藝室,可將溫度保持在可接受的參數內,以實現長期設備性能。腔室由四個獨立調節的加熱器加熱,允許精確的溫度控制和更快的熱斜坡時間。由於采用了超低交叉飽和度的先進氣體噴射系統,最終產品一直是最優質的。APPLIED MATERIALS Endura 5500還具有集成的過程控制器,能夠實時進行過程監控和驗證。過程控制器可以指示嚴密的過程條件,並提醒工程師註意潛在的過程問題,同時提供過程的可重復性並降低產量損失的風險。該反應堆還擁有一個可配置的擦除-回收程序,可以減少材料的使用和成本。Endura 5500專為處理汙染物而設計,具有先進、高效的排氣氣管,並具有後部擴散功能。這有助於在進入腔室前捕獲顆粒,確保更清潔的過程,延長腔室壽命。反應堆的過程監視器通過可聽和可視警報檢測可能出現的過程中斷,並向工程師發出警報,從而加快響應時間。反應堆有可互換的源模塊,可以滿足各種輸入氣體需求。它還具有易於維護的設計,具有可訪問的鈦合金襯裏,可快速清潔,並易於拆卸和更換易受傷害的部件。總體而言,APPLIED MATERIALS Endura 5500為有效的半導體器件生產和加工提供了一個用戶友好且高度可靠的平臺。其先進的技術和功能保證產品質量最高,而其先進的自動化系統則有助於確保過程的可重復性和統一性。這就是為什麼恩杜拉5500是半導體行業中備受追捧的蝕刻反應堆。
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