二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155131 待售
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已售出
ID: 155131
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Non-SMIF, 8"
Automation online Component: No
Load lock: Narrow Body
Transformer: Short Body
Robot Type: HP
Serial No: 3033
Chamber Configuration (Chamber Type)
Chamber A: By pass, Narrow Body
Chamber B: Cool down, Wide Body
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber E: N/A
Chamber F: Orienter/Degas
Chamber 1: Ti, Narrow Body
Chamber 2: Al, Wide Body (TiN)
Chamber 3: Al, Narrow Body
Chamber 4: Ti, Narrow Body (Al)
Chamber Configuration (Heater/Power Type)
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber 1: 101, 20KW
Chamber 2: 101, 10KW
Chamber 3: 101, 10KW
Chamber 4: 101, 20KW+10KW
MFC Type: STEC
1 Compressor:
Cryo He Line: 50ft
Neslab with resistivity
Hoist: No
RF Rack
Cable Length: 50ft
Pump Type: None
System Rack: STD
1994 vintage.
APPLIED MATERIALS Endura 5500是用於生產多種特種材料的最先進的高吞吐量設備。該反應堆系統是一個自動化平臺，以更高的效率和生產率提供先進的材料合成和沈積解決方案。對Endura 5500反應器進行了多批材料合成和沈積的優化，使一系列操作員能夠在不同的參數上工作，從而提高了工藝的生產率和效率。它采用高性能直線電機,提供快速、精確的定位,使操作員能夠輕松地執行高級功能。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500的驅動器設計用於可重復和準確的移動,從而實現可靠的過程同步。Endura 5500采用大真空室和尖端排氣單元設計，用於快速排空腔室，提高了工藝的可重復性和準確性。它通過三維控制（3D-CoC）機器提供了增強的過程控制，在材料沈積過程中提供了無與倫比的精度和控制。此工具使用高級算法即時調整進料速率,為材料沈積難題提供獨特而可靠的解決方案。APPLIED MATERIALS Endura 5500還包括一個直觀的用戶界面，為用戶提供可視化、分析和實時數據采集工具，在整個過程中優化過程可控性和操控。通過在圖形和表格視圖中顯示流程信息,直觀的用戶界面為用戶提供了更大的靈活性,並可以控制他們如何配置和監視流程。它還允許對過程的反應和進度進行最新跟蹤，使操作員能夠根據個別批次的性能修改條件和調整參數。Endura 5500的建造是為了使用廣泛的材料，從金屬到薄膜沈積材料。APPLIED MATERIALS Endura 5500通過增強的工藝控制、高功率直線電機和直觀的用戶界面,為材料沈積過程提供了前所未有的速度、精度和無重重復能力。
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